申请/专利权人：普利西斯株式会社

申请日：2020-01-03

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN113748497B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H05H1/46

优先权：["20190213 KR 10-2019-0016638"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2024.01.30#著录事项变更;2021.12.21#实质审查的生效;2021.12.03#公开

摘要：本发明涉及一种阀模块和包括所述阀模块的衬底处理装置。揭露了一种安装于衬底处理装置中的阀模块，所述衬底处理装置包括：处理腔室，形成衬底处理空间；以及流动路径部分，耦合到处理腔室且形成由等离子体活化的气体流经的流动路径，其中阀模块包括：开闭板，经安装其以能够经由设置在流动路径部分的一侧上的开口狭缝在流动路径上来回移动，从而打开及关闭流动路径；第一驱动部分，驱动开闭板的向前和向后移动；开闭板保护部分，移动到开闭板与流动路径之间的空间中，以在开闭板向后移动且保持流动路径打开时防止开闭板被活化气体损坏；以及第二驱动部分，驱动开闭板保护部分的移动。

主权项：1.一种提供给衬底处理装置的阀模块400，所述衬底处理装置包含：处理腔室100，界定衬底处理空间；以及流动路径部分300，耦合到所述处理腔室100且形成由等离子体活化的气体沿其流动的流动路径302，所述阀模块400包括：截流板410，设置在所述流动路径302中以经由在所述流动路径部分300的一侧处形成的开口狭缝301在所述流动路径302上向前或向后移动，以便打开或关闭所述流动路径302；第一驱动器420，驱动所述截流板410的向前或向后移动；截流板保护部分430，移动到所述截流板410与所述流动路径302之间的间隙中，以在所述截流板410向后移动以打开所述流动路径302时防止所述截流板410被所述活化气体损坏；以及第二驱动器440，在垂直于所述截流板410的板表面的第一方向上驱动所述截流板保护部分430的移动，其中所述截流板保护部分430包括阻滞片432，所述阻滞片432移动到所述截流板410与所述开口狭缝301之间的间隙中以在所述截流板410的向后移动后阻挡所述开口狭缝301，其中所述截流板保护部分430还包括两个耦合部分431，用于耦合到所述第二驱动器440，其中所述两个耦合部分431在所述阻滞片432的两个端处沿所述截流板410的向后移动方向延伸，其中当所述阻滞片432移动到所述截流板410与所述开口狭缝301之间的所述间隙中以阻挡所述开口狭缝301，所述截流板410位于所述两个耦合部分431之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 普利西斯株式会社 阀模块和包括所述阀模块的衬底处理装置

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