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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-12-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263171A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/687
优先权：["20221228 KR 10-2022-0187539"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请公开了一种配置为夹持载体的夹持器模块以及包括该夹持器模块的衬底运输设备。夹持器模块包括：基板，具有在第一方向上的长度以及在基本上垂直于第一方向的第二方向上的宽度；驱动器，设置在基板上以产生驱动动力；夹持器运输器，设置在基板上以便连接到驱动器，并且联接到驱动器和配置为夹持作为运输目标的载体的夹持器，以在第一方向上在夹持位置和释放位置之间线性地运输夹持器；以及减振器，连接到夹持器运输器，以阻止外部震动或外部振动传递到夹持器。阻止外部震动或外部振动传递到载体，从而提高衬底运输稳定性。
主权项：1.一种夹持器模块，包括：基板，具有矩形形状，并且具有在第一方向上的长度以及在基本上垂直于所述第一方向的第二方向上的宽度；驱动器，设置在所述基板上以产生驱动动力；夹持器运输器，设置在所述基板上以便连接到所述驱动器，并且联接到所述驱动器和配置为夹持作为运输目标的载体的夹持器，以在所述第一方向上在夹持位置和释放位置之间线性地运输所述夹持器；以及减振器，连接到所述夹持器运输器，以阻止外部震动或外部振动传递到所述夹持器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 夹持器模块和衬底运输设备
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