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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2022-09-15
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118266066A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;C23C16/455
优先权：["20210921 US 63/246,656"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：一种向衬底处理工具的多个站供给气体的系统包含：用于供给气体的气体源、连接至气体源的质量流量控制器、多个导管、以及多个加热器。该多个导管彼此互连且彼此流体连通。该多个导管包含连接至质量流量控制器的入口、包含多个出口的多个部分、以及多个气体流量限制器。该多个出口连接至多个歧管，该多个歧管用于将该气体分别供给至多个站。该多个气体流量限制器分别设置于该多个导管的邻近该多个出口的相应的多个部分中。该多个加热器耦合至邻近该多个出口并包括多个气体流量限制器的该多个导管的该相应的多个部分。
主权项：1.一种向衬底处理工具的多个站供给气体的系统，所述系统包含：气体源，其被配置成供给所述气体；质量流量控制器，其连接至所述气体源；多个导管，其彼此互连且彼此流体连通，其中所述多个导管包含：入口，其连接至所述质量流量控制器；多个部分，其分别包含多个出口；其中所述多个出口分别连接至多个歧管；并且其中所述多个歧管分别被配置成分别向所述衬底处理工具的所述多个站供给所述气体；以及多个气体流量限制器，其分别设置于所述多个部分中；其中所述多个气体流量限制器分别邻近所述多个出口设置；以及多个加热器，其分别耦合至所述多个部分；其中所述多个加热器分别邻近所述多个出口设置；并且其中所述多个加热器分别被配置成加热包含所述多个气体流量限制器的所述多个部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 使用流量限制器上游的加热器平衡流向多个站的气流
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