申请/专利权人：三菱电机株式会社

申请日：2016-12-08

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN113188964B

主分类号：G01N15/0227

分类号：G01N15/0227;G01N15/075;G01N15/1434;G01N21/03;G01N21/05;G01N21/21;G01N21/49;G01N21/53

优先权：["20151214 JP 2015-243250","20160202 JP 2016-017780"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2021.08.17#实质审查的生效;2021.07.30#公开

摘要：本发明提供微小物检测装置，具有第1、第2光学系统，第1光学系统包含第1、第2反射区域、第1、第2穿过区域和第1受光元件，第1光学系统利用第1、第2反射区域对照射光照到粒子而散射的散射光进行反射，由此将散射光引导至第1受光元件，第2光学系统穿过第2穿过区域从粒子直接取入照到粒子而散射的散射光的一部分，根据散射光检测粒子的光学特性，通过在第2反射区域设置第1穿过区域，将散射光引导至第1受光元件，通过在第1反射区域设置第2穿过区域，将散射光引导至第2光学系统，第2穿过区域位于与第1穿过区域对置的位置，并且位于第1反射区域内被由第2反射区域中的第1穿过区域的周缘反射的散射光到达的点包围的区域的内侧。

主权项：1.一种微小物检测装置，其中，所述微小物检测装置具有第1光学系统和第2光学系统，所述第1光学系统包含第1反射区域、第2反射区域、第1穿过区域、第2穿过区域、第1受光元件以及由所述第1反射区域和所述第2反射区域包围的被检测区域，所述第1光学系统利用所述第1反射区域和所述第2反射区域对照射光照到穿过所述被检测区域的粒子而散射的散射光进行反射，由此将该散射光引导至所述第1受光元件，所述第1受光元件检测所述散射光，其中，所述第1反射区域为椭圆面形状的，利用椭圆面形状的2个焦点的位置来反射从所述粒子到达的散射光并将该散射光引导至所述第1受光元件，所述第2光学系统取入照到所述粒子而散射的所述散射光中的、不由所述第2反射区域反射而直接穿过所述第2穿过区域的一部分散射光，并根据取入的所述散射光检测所述粒子的光学特性，通过在所述第2反射区域设置所述第1穿过区域，将所述散射光引导至所述第1受光元件，通过在所述第1反射区域设置所述第2穿过区域，将所述散射光引导至所述第2光学系统，所述第2穿过区域位于与所述第1穿过区域对置的位置，并且位于所述第1反射区域内被由所述第2反射区域中的所述第1穿过区域的周缘反射的所述散射光到达的点包围的区域的内侧，所述第2反射区域反射从所述粒子到达的散射光并将该散射光引导至所述第1反射区域，该散射光被所述第1反射区域反射而被引导至所述第1受光元件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三菱电机株式会社 微小物检测装置

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