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申请/专利权人：北京七星华创集成电路装备有限公司
申请日：2020-08-11
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111900122B
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;G02F1/13
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2020.11.24#实质审查的生效;2020.11.06#公开
摘要：本发明实施例提供一种升降驱动装置及半导体设备，该装置包括升降机构及用于使工作台的水平度保持在预设范围内的平衡机构，平衡机构包括多个气缸和压力控制模块，其中，多个气缸相对于工作台分散设置，且各个气缸均具有竖直设置的活塞件，活塞件的上端用于支撑工作台；压力控制模块与各个气缸连接，用于控制各个气缸中的气体压力，以使各个活塞件能够向工作台施加相同的支撑力，以及压力控制模块用于当任一气缸中的气体压力大于与支撑力对应的压力设定值时，将自气缸流出的气体排入大气环境中，以将各个气缸中的气体压力均保持在压力设定值。本发明实施例提供的升降驱动装置及半导体设备，可以保证工作台的平面度满足要求，减少微环境下发尘量和占用空间。
主权项：1.一种升降驱动装置，包括用于驱动工作台作升降运动的升降机构，其特征在于，还包括用于使所述工作台的水平度保持在预设范围内的平衡机构，所述平衡机构包括多个气缸和压力控制模块，其中，多个所述气缸相对于所述工作台分散设置，且各个所述气缸均具有竖直设置的活塞件，所述活塞件的上端用于支撑所述工作台；所述压力控制模块与各个所述气缸连接，用于控制各个所述气缸中的气体压力，以使各个所述活塞件能够向所述工作台施加相同的支撑力，以及所述压力控制模块用于当任一所述气缸中的气体压力大于与所述支撑力对应的压力设定值时，将自所述气缸流出的气体排入大气环境中，以将各个所述气缸中的气体压力均保持在所述压力设定值；所述升降机构包括丝杠驱动组件和导向组件，其中，所述丝杠驱动组件包括竖直设置的丝杠和用于驱动所述丝杠旋转的电机，且在所述丝杠上设置有与之相配合的移动件，所述移动件与所述工作台连接；所述导向组件包括竖直设置的导轨和可沿导轨滑动的滑块，所述滑块与所述移动件连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京七星华创集成电路装备有限公司 升降驱动装置及半导体设备
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