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申请/专利权人：驭准精密机械(上海)有限公司
申请日：2023-05-12
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN116408717B
主分类号：B24B35/00
分类号：B24B35/00;B24B41/02;B24B49/16
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2023.07.28#实质审查的生效;2023.07.11#公开
摘要：本发明公开了一种研磨机构，包含：横向驱动模块、纵向驱动模块、压力检测模块、定位模块和研磨模块。其中，横向驱动模块和研磨模块相连，驱动研磨模块横向往复运动；纵向驱动模块和横向驱动模块相连，驱动横向驱动模块往复运动；压力检测模块分别与横向驱动模块和研磨模块相连，可检测研磨模块研磨时的压力；定位模块分别与压力检测模块和研磨模块相连，可固定研磨模块的位置；研磨模块用于研磨工件。本发明还公开了一种超精研磨设备，包含前一实施例的研磨机构。本发明极大提高了研磨精度。
主权项：1.一种研磨机构，其特征在于，包含：横向驱动模块、纵向驱动模块、压力检测模块、定位模块和研磨模块；所述横向驱动模块和所述研磨模块相连，驱动所述研磨模块横向往复运动；所述纵向驱动模块和所述横向驱动模块相连，驱动所述横向驱动模块往复运动；所述压力检测模块分别与所述横向驱动模块和所述研磨模块相连，可检测所述研磨模块研磨时的压力；所述定位模块分别与所述压力检测模块和所述研磨模块相连，可固定所述研磨模块的位置；所述研磨模块用于研磨工件；所述压力检测模块包含：第一板体和检测机构；所述第一板体分别与所述横向驱动模块和所述检测机构相连，所述横向驱动模块可驱动所述第一板体往复运动；所述检测机构和所述研磨模块相连，可检测所述研磨模块研磨时的压力；所述检测机构包含：传感器、第二板体和一对弹性片；所述第二板体分别与所述第一板体和所述研磨模块相连，并可与第一板体之间相对滑动；所述一对弹性片设置在所述第二板体两端，所述一对弹性片一端与所述第一板体相连，另一端与所述第二板体相连；所述传感器分别与所述一对弹性片电性连接，可将所述一对弹性片的形变量转换为压力值；所述定位模块包含：一对气缸和一对固定板；所述一对气缸分别与所述第一板体相连；所述一对固定板设置在所述第二板体的两端，并可随所述第二板体运动；所述一对气缸分别与所述一对固定板一一对应，所述气缸的输出端与对应的所述一对固定板相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 驭准精密机械(上海)有限公司 研磨机构和超精研磨设备
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