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一种用于多气体混合输送的控制型气柜 

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申请/专利权人:安徽壹月科技有限公司

摘要:本发明公开了应用于气柜领域的一种用于多气体混合输送的控制型气柜,该气柜通过盘面来对多种气体的管道及其相关配件进行合理的布局,有效降低空间占比,便于安装摆放,通过在盘面的下方增设抽气箱,利用气体传感器来监测多种气体,当气体发生泄漏后气体传感器触发微型电磁铁向上磁排斥重力式密封头,同时启动微型抽气泵将泄漏的气体吸收到压缩式储气囊中进行储存,避免气体在柜体内大量积聚,有效避免爆燃事故的发生,而且当压缩式储气囊吸收满泄漏的气体后会通过触发压力传感器来发出警报,从而让工作人员及时清空压缩式储气囊内的气体,实现对气柜内部空间的紧凑利用,并且能及时吸收泄漏出来的气体,有效提高气柜使用时的安全性。

主权项:1.一种用于多气体混合输送的控制型气柜,包括密闭柜体1,所述密闭柜体1的内部安装有盘面2,所述盘面2上安装有氢气管路3、氯化氢管路4、氨气管路5、硅烷管路6和氮气管路7,且五条气体管路上均安装有隔膜阀、过滤器、纯化器和调压阀,所述五条气体管路的混合管路上还安装有流量计,所述密闭柜体1的上方安装有电控箱8,且电控箱8的面板上分别安装有急停按钮9、负压表10和PLC显示屏11,其特征在于,所述密闭柜体1的底部安装有抽气箱12,且抽气箱12的四个角上均安装有气体传感器13,所述抽气箱12的上端中部内壁上固定连接有与气体传感器13电连接的微型抽气泵14,且微型抽气泵14的下端连通有T形气管15,所述T形气管15的两侧均连通有压缩式储气囊16,所述压缩式储气囊16包括两个密封板1601,且两个密封板1601之间固定连接有囊体1602,靠近微型抽气泵14的所述密封板1601与抽气箱12的内壁固定连接,且远离微型抽气泵14的密封板1601与抽气箱12的内壁滑动连接;所述抽气箱12位于微型抽气泵14上方的上端侧壁固定连接有抽气头17,所述抽气头17的上端侧壁开设有与微型抽气泵14连通的阶梯形抽气管道1701,且阶梯形抽气管道1701中放置有重力式密封头18,所述抽气头17环绕阶梯形抽气管道1701的下方内壁还开设有多个等间距分布的空腔1703,且空腔1703的底部固定连接有弹簧丝24,所述弹簧丝24的上端固定连接有T形牵杆25,且T形牵杆25的上端贯穿至空腔1703的上方并与重力式密封头18固定连接;所述重力式密封头18的下端侧壁固定连接有滑套19,且滑套19的上端内壁固定镶嵌有磁板1901,所述阶梯形抽气管道1701的下端开设有安装槽1702,且安装槽1702的两端均安装有与气体传感器13电连接的微型电磁铁20,两个所述微型电磁铁20之间固定连接有导磁垫2001,且导磁垫2001的中部固定连接有与滑套19滑动连接的导磁柱2002;所述抽气箱12正对压缩式储气囊16的内壁均开设有凹槽,且凹槽中安装有压力传感器21,所述凹槽中滑动连接有抵触头22,且抵触头22和压力传感器21之间还固定连接有乳胶垫23,所述抽气箱12上还安装有与压力传感器21电连接的警报器。

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