申请/专利权人：原子能和替代能源委员会

申请日：2019-02-14

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN111699369B

主分类号：G01J5/04

分类号：G01J5/04;G01J5/20

优先权：["20180215 FR 1800141"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2021.02.12#实质审查的生效;2020.09.22#公开

摘要：本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒VOx的敏感材料15的微测辐射热计10的方法，所述敏感材料包括选自硼B、碳C的除氮N以外的至少一种附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i.确定附加化学元素B、C的非零有效量，基于该有效量，在温度Tr下经受暴露持续时间Δtr的敏感材料15在环境温度下的电阻率ρa|r大于或等于所述敏感材料15的固有值ρa的50％；ii.将所述敏感材料15制成薄层，其附加化学元素B、C的量大于或等于之前确定的有效量，所述敏感材料是非晶的，并且具有1至30Ω·cm的电阻率；iii.在小于或等于Tr的温度下将所述敏感材料15暴露小于或等于Δtr的持续时间。

主权项：1.一种用于制造包括敏感材料15的至少一个微测辐射热计10的方法，所述方法允许至少限制所述敏感材料15的噪声劣化，●所述敏感材料15由基于氧化钒VOx的第一化合物和选自硼B、碳C的至少一种附加化学元素形成，其中所述敏感材料中的氮N的量为零；●所述方法包括以下步骤：○将所述敏感材料制成薄层的步骤；○在高于环境温度的温度Tr下将所述敏感材料暴露持续时间Δtr的步骤，该暴露的步骤在敏感材料的制成步骤之后进行，■温度Tr和持续时间Δtr使得非晶并且在环境温度下的电阻率的固有值为1Ω·cm至30Ω·cm、在温度Tr下经受暴露持续时间Δtr的步骤的所述第一化合物在环境温度下的电阻率小于其固有值的50％；●所述方法还包括以下步骤：i.确定添加到所述第一化合物而由此形成改性化合物的附加化学元素B、C的非零的所谓的有效量，基于该有效量，在温度Tr下经受了暴露持续时间Δtr的步骤的所述改性化合物在环境温度下的电阻率ρa|r大于或等于其固有值ρa的50％；ii.在将敏感材料15制成薄层的所述步骤期间，该敏感材料由所述改性化合物形成，该改性化合物的附加化学元素B、C的量大于或等于之前确定的有效量，所述敏感材料15是非晶的，在环境温度下的电阻率的固有值ρa为1Ω·cm至30Ω·cm，并具有均质的化学成分；iii.由此，在所述在高于环境温度的温度Tr下将所述敏感材料15暴露持续时间Δtr的步骤之后，所述敏感材料15具有其劣化已经被至少限制的噪声。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 原子能和替代能源委员会 用于制造包括基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法

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