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申请/专利权人：VAT控股公司
摘要：一种销举升装置10且特别是销举升器，其被设计用于在可由真空处理室提供的处理气氛区域内移动和定位待处理基片特别是晶圆。销举升装置10包括被设计成接收适于接触并支承该基片的支承销的接头32以及驱动单元12，其被设计且与接头32相互作用，使得接头32可以沿调节轴线A从降低的正常位置线性调节到伸出的支承位置和返回调节。销举升装置10具有至少一个传感器单元41‑44，其被设计和布置成可以与销举升装置10的至少一部分相关地借助传感器单元41产生与力有关和或与加速度有关的状态信息。
主权项：1.一种销举升装置10,50，所述销举升装置被设计用于在能由真空处理室4提供的处理气氛区域P中移动和定位待处理的基片1，所述销举升装置具有：·接头32,58，所述接头被设计成容纳适于接触和支承所述基片1的支承销7,59，以及·驱动单元6,12，所述驱动单元被设计成且与所述接头32,58相互作用成，使得所述接头32,58能沿调节轴线A从降低的正常位置被线性调节到伸出的支承位置且能够相反调节，所述降低的正常位置用于使所述支承销7,59处于关于其预期效果基本无作用的状态，所述伸出的支承位置用于提供通过所述支承销7,59容纳和或提供所述基片1的预期效果，其特征在于，所述销举升装置10,50具有至少一个传感器单元41-48，所述传感器单元被设计和布置成，借助所述传感器单元41-48能与所述销举升装置10,50的至少一部分相关地产生与力有关和或与加速度有关的状态信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： VAT控股公司 具有状态监控的销举升装置
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