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申请/专利权人：东北大学秦皇岛分校
申请日：2021-08-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN113654482B
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24;G01B11/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.12.03#实质审查的生效;2021.11.16#公开
摘要：本发明公开一种基于色差和谱域干涉的光学3D成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术领域。该装置包括宽带光源，光源出射光入射第一透镜；第一透镜出射平行光入射分光装置；分光装置出射参考光和样品光；样品光依次经过第三透镜和第四透镜入射扫描振镜后经第五透镜以不同焦点聚焦在样品的不同深度层面上；参考光入射光栅，从光栅出射不同波长的参考光通过第二透镜聚焦反射镜表面；在第二透镜和反射镜之间设置三角形透光体；经反射镜反射的参考光和经样品的不同深度层面反射的样品光均进入分光装置后，再进入光谱仪中形成干涉光谱；光谱仪与扫描振镜均与计算机相连。实现了高纵向分辨率、高横向分辨率、大景深、大可测量角度，提高了解调精度。
主权项：1.一种基于色差和谱域干涉的光学3D成像装置，其特征在于，该装置包括宽带光源，所述宽带光源的出射光入射到第一透镜；从所述第一透镜出射平行光并入射到分光装置；从所述分光装置出射参考光和样品光；所述样品光入射第三透镜，所述第三透镜出射不同波长的样品光；所述不同波长的样品光通过第四透镜入射到扫描振镜后经过第五透镜以不同的焦点聚焦在样品的不同深度层面上；所述参考光入射光栅，从所述光栅出射的不同波长的参考光通过第二透镜而聚焦到反射镜的表面；在所述第二透镜和所述反射镜之间设置三角形透光体，以改变所述不同波长的参考光的光程；经所述反射镜的表面反射的参考光和经所述样品的不同深度层面反射的样品光进入所述分光装置后，再进入光谱仪中形成干涉光谱，所述光谱仪与所述扫描振镜均与计算机相连接；所述第三透镜为色差透镜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东北大学秦皇岛分校 一种基于色差和谱域干涉的光学3D成像装置及方法
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