申请/专利权人：珠海广浩捷科技股份有限公司

申请日：2023-10-23

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN221231102U

主分类号：B07C5/342

分类号：B07C5/342;B07C5/36

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权

摘要：本实用新型涉及一种硅片前后棱边缺陷检测装置，包括输送流线、相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向依次设置的第一条形高亮光源和第二条形高亮光源；第一条形高亮光源和第二条形高亮光源分别用于对硅片的后棱边和前棱边打光；第一条形高亮光源和第二条形高亮光源发出的光路均经过反射组件反射至相机组件，只用一个相机即可实现对硅片的前棱边和后棱边的采集，节省了成本；硅片的前棱边成像光路只需经过第二反射镜和第三反射镜的两次反射以及后棱边成像光路只需经过第一反射镜和分光镜的两次反射就能进入相机成像，反射镜少，光路简洁且便于维护和调试，结构设计紧凑，使得空间利用率高。

主权项：1.一种硅片前后棱边缺陷检测装置，其特征在于：包括输送流线4、安装在所述输送流线4上方的安装支架5、安装在所述安装支架5上端的相机组件29、安装在所述安装支架5上的反射组件以及沿着硅片1输送方向依次设置的第一条形高亮光源2和第二条形高亮光源3，所述第一条形高亮光源2和所述第二条形高亮光源3安装在所述安装支架5的两侧，且位于所述输送流线4的上方；所述反射组件包括两个打光镜组7、反射镜组8和分光镜组9，所述打光镜组7包括打光镜14，两个所述打光镜14分别位于所述第一条形高亮光源2和所述第二条形高亮光源3的正下方，用于接收所述第一条形高亮光源2和所述第二条形高亮光源3发出的光，且分别将光反射至硅片1的后棱边和前棱边；所述反射镜组8可将接收到的硅片1的棱边照射光线进行至少一次反射至所述分光镜组9；所述反射镜组8包括第一反射镜10、第二反射镜11和第三反射镜12，所述第一反射镜10位于所述第一条形高亮光源2和所述输送流线4之间，所述第二反射镜11和所述第三反射镜12位于所述第二条形高亮光源3与所述输送流线4之间，所述第一反射镜10可将接收到的硅片1的后棱边照射光线反射至所述分光镜组9，所述第二反射镜11可将接收到的硅片1的前棱边照射光线反射至所述第三反射镜12，所述第三反射镜12可将接收到的所述第二反射镜11的光线反射至所述分光镜13组9；所述分光镜组9包括分光镜13，所述分光镜组9位于所述相机组件29的正下方且位于所述输送流线4的上方，所述分光镜13可将接收到的所述第一反射镜反射的后棱边照射光线并反射至所述相机组件29以及将接收的所述第三反射镜反射的前棱边照射光线并透射至所述相机组件29。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 珠海广浩捷科技股份有限公司 一种硅片前后棱边缺陷检测装置

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