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申请/专利权人：浙江大学绍兴研究院
摘要：本发明公开了一种片上集成矢量磁场和温度的双参量传感器，包括输入光接收端、分束器、磁场探头、温度探头、第一输出端、第二输出端、第一光电二极管、第二光电二极管、波导包层和二氧化硅衬底，输入光接收端接收从输入光纤传输的光并且将光传输到分束器，以使得分束器将光分为第一路和第二路。本发明公开的一种片上集成矢量磁场和温度的双参量传感器，可以实现高灵敏的矢量磁场和温度双通道、双参量传感；有利于光电系统的集成和温度‑矢量磁场双参量传感器的小型化；解决光纤集成器件中加工工艺不成熟，功能设计单一的问题。
主权项：1.一种片上集成矢量磁场和温度的双参量传感器，其特征在于，包括输入光接收端、分束器、磁场探头、温度探头、第一输出端、第二输出端、第一光电二极管、第二光电二极管、波导包层和二氧化硅衬底，其中：输入光接收端接收从输入光纤传输的光并且将光传输到分束器，以使得分束器将光分为第一路和第二路，其中：对于第一路，从分束器分出的第一入射光传输到磁场探头，以使得在磁场探头中部分第一入射光满足SPR谐振条件而大量衰减，并且经过磁场探头生成的第一反射光通过第一输出端传输到第一光电二极管，第一光电二极管测量获得第一反射光的光强，从而实现矢量磁场传感；对于第二路，从分束器分出的第二入射光传输到温度探头，以使得在温度探头中部分第二入射光满足SPR谐振条件而大量衰减，并且经过温度探头生成的第二反射光通过第二输出端传输到第二光电二极管，第二光电二极管测量获得第二反射光的光强，从而实现温度传感。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学绍兴研究院 一种片上集成矢量磁场和温度的双参量传感器
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