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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：本发明涉及一种校正束路径3中的中心误差和或角度误差的光学布置和方法。束路径3在此包括光学补偿的系统4，在该光学补偿的系统中存在至少两个光学元件5、6且它们相对于彼此对准，使得光学元件5、6的成像像差被补偿。根据本发明，校正单元8布置在束路径3的无穷远空间中且布置在至少两个光学元件5、6之间，其中所述校正单元8改变辐射沿着束路径3传播的传播方向，且校正单元8具有反射表面或者被实施为对于辐射是透射的。校正单元8是可调节的，使得可以设定传播方向变化的角度。
主权项：1.一种校正光学布置的束路径3中的角度误差的方法，所述光学布置在束路径3中包括：-光学补偿的系统4，其中存在至少两个光学元件且它们相对于彼此对准，使得所述光学元件的成像像差被补偿；以及-校正单元8布置在所述束路径3的无穷远空间中且布置在所述至少两个光学元件之间，其中所述校正单元8改变沿着所述束路径3传播的辐射的传播方向，且所述校正单元8具有反射表面或者被实施为对于所述辐射是透射的，并且其中所述校正单元8是可调节的，使得能够设定所述传播方向变化的角度，所述方法包括以下步骤：-限定物场12，并且在所述物场12的中心处布置样品；-确定所述样品的成像的表示在像场13中的位置作为参考位置，并且将所确定的像场位置与期望的像场位置进行比较作为校准值；-生成对应于所述校准值的控制命令并且控制所述校正单元8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 校正中心误差和/或角度误差的光学布置和方法
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