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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种化学机械抛光系统包括：平台，所述平台用于支撑具有抛光表面的抛光垫；加热流体的源；储藏室，所述储藏室用于保持抛光液体；以及配给器，所述配给器具有悬吊在平台之上的一个或多个孔，以将抛光液体引导至抛光表面上，其中加热流体的源耦合至配给器，并且配置成在抛光液体离开储藏室之后并且在抛光液体被配给至抛光表面上之前将加热流体传输至抛光液体中以加热抛光液体。
主权项：1.一种化学机械抛光系统，包含：平台，所述平台用于支撑具有抛光表面的抛光垫；蒸汽产生器；储藏室，所述储藏室用于保持抛光液体；配给器，所述配给器具有在所述平台之上延伸的配给器手臂，一个或多个孔悬吊在所述平台之上，以将所述抛光液体引导至所述抛光表面上，其中所述蒸汽产生器耦合至所述配给器，并且配置成在所述抛光液体离开所述储藏室之后并且在所述抛光液体被配给至所述抛光表面上之前将蒸汽传输至所述抛光液体中以加热所述抛光液体，其中所述蒸汽产生器在位于所述配给器手臂中的混合腔室中耦合至所述配给器，以便将蒸汽传输至所述混合腔室中的所述抛光液体中；一个或多个阀门，所述一个或多个阀门控制蒸汽与所述抛光液体的相对流率；以及控制器，所述控制器被配置为控制所述一个或多个阀门使得所述蒸汽和所述抛光液体以1:100至1:5的流率比例混合，以及控制所述配给器使得在所述抛光垫抛光基板时蒸汽和抛光液体的混合物被配给至所述抛光表面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 在配给下通过混合的浆料温度控制
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