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申请/专利权人：安徽铅核新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了射频耦合离子束辐照装置及方法，包括主腔室，所述主腔室内壁的底部转动设有转盘，所述转盘的表面开设有多个用于放置样品盘的放置槽；设置在主腔室上的抽真空组件，所述抽真空组件用于控制主腔室内的真空度，所述抽真空组件包括机械泵，且机械泵通过Y型管道与主腔室相连，且主腔室的底部设有两个真空口，所述Y型管道顶部分支的中部设有旁抽阀，且Y型管道分支的另一端中部依次设有高阀、扩散泵和前级阀。本发明通过射频耦合能够高效地将射频功率传递到等离子体中，提高能量利用率和等离子体的稳定性，使得离子束可以实现对底部样品的均匀处理，避免在处理生物样本时，造成不均匀损伤的情况发生。
主权项：1.射频耦合离子束辐照装置，包括主腔室（1），其特征在于：所述主腔室（1）内壁的底部转动设有转盘（2），所述转盘（2）的表面开设有多个用于放置样品盘的放置槽（3）；设置在主腔室（1）上的抽真空组件，所述抽真空组件用于控制主腔室（1）内的真空度，所述抽真空组件包括机械泵，且机械泵通过Y型管道与主腔室（1）相连，且主腔室（1）的底部设有两个真空口，所述Y型管道顶部分支的中部设有旁抽阀，且Y型管道分支的另一端中部依次设有高阀、扩散泵和前级阀，所述Y型管道分支的两端分别与主腔室（1）底部两个真空口相连通；设置在主腔室（1）顶部的且用于产生离子束的离子源组件，所述离子源组件包括自下而上依次固定设置在主腔室（1）顶部的加速管（4）、引出极（5）和电离管（6），且电离管（6）的顶部设有与主腔室（1）内部相连通的进气口（8），且进气口（8）内设有针阀，所述进气口（8）用于向主腔室（1）的内部输入惰性气体，所述电离管（6）的表面固定缠绕有射频线圈（7）。
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权利要求：
百度查询： 安徽铅核新能源科技有限公司 射频耦合离子束辐照装置及方法
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