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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明的检查基片的检查装置包括：能够载置基片的载置部件；保持探针卡的保持部，上述探针卡具有与基片上的电极接触的探针；移动机构，其保持上述载置部件并使其移动；具有第一拍摄单元和第二拍摄单元拍摄部，上述第一拍摄单元识别载置于上述载置部件的基片，上述第二拍摄单元识别被保持在上述保持部的上述探针卡的上述探针，上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元固定于共用的壳体；和使上述拍摄部的上述壳体移动的拍摄移动机构，基于载置有基片的上述载置部件位于被保持在上述保持部的上述探针卡的下方的状态下的、上述第一拍摄单元和上述第二拍摄单元的拍摄结果，进行载置于上述载置部件的基片与上述探针卡的上述探针的位置对准。
主权项：1.一种检查基片的检查装置，其特征在于，包括：能够载置基片的载置部件，保持探针卡的保持部，所述探针卡具有与基片上的电极接触的探针，移动机构，其保持所述载置部件并使其移动，具有第一拍摄单元和第二拍摄单元的拍摄部，所述第一拍摄单元识别载置于所述载置部件的基片，所述第二拍摄单元识别被保持在所述保持部的所述探针卡的所述探针，所述第一拍摄单元和所述第二拍摄单元固定于共用的壳体；和使所述拍摄部的所述壳体移动的拍摄移动机构，基于载置有基片的所述载置部件位于被保持在所述保持部的所述探针卡的下方的状态下的、所述第一拍摄单元和所述第二拍摄单元的拍摄结果，进行载置于所述载置部件的基片与所述探针卡的所述探针的位置对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置和检查方法
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