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申请/专利权人：株式会社V技术
摘要：能够防止反射器的共振而防止伪缺陷的产生。在对被检查对象的掩模沿大致铅垂方向进行保持的大致框状的框架的侧面设置的保持构件具有：中空的棒状构件，其沿水平方向延伸设置；第一安装部，其将棒状构件安装于框架；以及第二安装部，其设置有反射器。为了使框架沿着平台的上表面水平地移动，而将中空的棒状构件沿水平方向延伸设置。在设置于平台的柱设置有光照射部，该光照射部配置在与反射器大致相同的高度并朝向反射器沿大致水平方向照射光。
主权项：1.一种掩模检查装置，其特征在于，所述掩模检查装置具备：平台；框状的框架，其对被检查对象的掩模进行保持；移动部，其使所述框架沿着所述平台的上表面水平地移动；保持构件，其设置于所述框架的侧面；反射器，其设置于所述保持构件的前端；柱，其设置于所述平台；以及光照射部，其设置于所述柱，且该光照射部配置在与所述反射器相同的高度并朝向所述反射器沿水平方向照射光，所述保持构件具有：中空的棒状构件，其沿水平方向延伸设置；第一安装部，其设置于所述棒状构件的第一端，并将所述棒状构件安装于所述框架；以及第二安装部，其设置于所述棒状构件的与所述第一端相反一侧的端即第二端，所述反射器设置于所述第二安装部。
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