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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：提供了一种用于检查样本的系统、方法和计算机可读介质，所述方法包括：从检验工具接收的潜在缺陷群组中选择的审查子集获得关注缺陷DOI和错误报警FA，每个潜在缺陷与属性值相关联，所述属性值定义潜在缺陷在属性空间中的位置；产生所述群组的代表子集，包括根据潜在缺陷在属性空间中的分布来选择的潜在缺陷，并且将代表子集中的潜在缺陷指示为FA；和在使用提供DOI的属性值、代表子集的潜在缺陷、和其作为DOI或FA的相应指示的信息的数据训练分类器之后，将分类器应用于至少一些潜在缺陷以获得对样本中的预期DOI的数量的估计。
主权项：1.一种检查半导体样本的计算机化系统，所述系统包括处理和存储电路PMC，所述处理和存储电路PMC被配置为：从由审查工具审查的审查子集获得多个关注缺陷DOI和多个错误报警FA，所述审查子集是从检验工具接收的潜在缺陷群组中选择的，其中每个潜在缺陷与多个属性值相关联，所述属性值定义属性空间中的所述潜在缺陷的位置；产生所述潜在缺陷群组的代表子集，所述代表子集包括根据所述潜在缺陷群组在所述属性空间内的分布选择的潜在缺陷，并且将所述代表子集中的所述潜在缺陷指示为FA；和使用提供所述多个DOI的所述属性值、所述代表子集的所述潜在缺陷、和其作为DOI或FA的相应指示的信息的数据训练分类器，其中所训练的分类器将被应用于至少一些所述潜在缺陷群组以获得对所述半导体样本中的预期DOI的数量的估计。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 检查样本的方法和其系统
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