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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明提供了曝光装置、曝光方法和物品制造方法。提供了一种曝光装置，其用于通过投影光学系统将原版的图案投影到基板上，并对基板进行曝光。曝光装置包括：载台，其被构造为在保持基板的同时移动；测量设备，其被构造为在曝光区域中的多个测量点处进行对由载台保持的基板的高度位置的测量；以及控制器，其被构造为控制测量设备并基于测量结果来校正载台的位置，使得所述高度位置相对于投影光学系统的像平面的偏移量减小，其中，控制器基于关于曝光区域的信息而在曝光区域中设置所述多个测量点。
主权项：1.一种曝光装置，其用于通过投影光学系统将原版的图案投影到基板上，并对基板进行曝光，所述曝光装置包括：载台，其被构造为在保持基板的同时移动；测量设备，其被构造为在曝光区域中的多个测量点处进行对由载台保持的基板的高度位置的测量；以及控制器，其被构造为控制测量设备并基于测量结果来校正载台的位置，使得所述高度位置相对于投影光学系统的像平面的偏移量减小，其中，控制器基于关于曝光区域的信息而在曝光区域中设置所述多个测量点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 曝光装置、曝光方法和物品制造方法
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