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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及半导体光电探测器技术领域，尤其涉及一种镓酸锌紫外探测器及其制备方法，所述镓酸锌紫外探测器从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部铂层，生长在所述底部铂层上的镓酸锌层，以及生长在所述镓酸锌层上的顶部导电层；本发明的方案可以保证制得的镓酸锌层致密平整，易于制备底部电极形成垂直型器件，制备工艺简单，反应过程容易控制；制得的器件响应度高，暗电流低，响应时间短，结构为垂直型肖特基器件或者垂直型MSM器件，肖特基器件可以在0V电压下工作；为制备高性能日盲紫外光探测器提供了便捷有效的手段。
主权项：1.一种镓酸锌紫外探测器，其特征在于：所述镓酸锌紫外探测器从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部铂层，生长在所述底部铂层上的镓酸锌层，以及生长在所述镓酸锌层上的顶部导电层；所述顶部导电层为顶部金属层或者顶部氧化铟锡层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种镓酸锌紫外探测器及其制备方法
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