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申请/专利权人：长飞先进半导体(武汉)有限公司
摘要：本发明公开了一种功率器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路及车辆。功率器件包括：依次层叠设置的衬底和外延层；所述外延层包括源极沟槽和至少两个栅极沟槽；其中，所述源极沟槽和所述至少两个栅极沟槽位于所述外延层远离所述衬底的一侧；所述外延层远离所述衬底的表面还包括第一导电类型区和第二导电类型区；所述第二导电类型区位于所述第一导电类型区远离所述衬底的一侧，所述第一导电类型区和所述第二导电类型区位于所述源极沟槽和所述栅极沟槽之间以及相邻的所述栅极沟槽之间。本发明实施例可以降低器件的导通电阻。
主权项：1.一种功率器件，其特征在于，包括：依次层叠设置的衬底和外延层；所述外延层包括源极沟槽和至少两个栅极沟槽；其中，所述源极沟槽和所述至少两个栅极沟槽位于所述外延层远离所述衬底的一侧；所述外延层远离所述衬底的表面还包括第一导电类型区和第二导电类型区；所述第二导电类型区位于所述第一导电类型区远离所述衬底的一侧，所述第一导电类型区和所述第二导电类型区位于所述源极沟槽和所述栅极沟槽之间以及相邻的所述栅极沟槽之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长飞先进半导体(武汉)有限公司 功率器件及其制备方法、功率模块、功率转换电路及车辆
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