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激光雷达的扫描装置和扫描装置的结构优化方法 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本申请涉及一种激光雷达的扫描装置和扫描装置的结构优化方法,该扫描装置包括基板、扫描镜、驱动环、快轴和慢轴;快轴和慢轴中至少有一个为应力均化结构,应力均化结构包括单轴结构或双轴结构。其中,基板上设置驱动孔,扫描镜通过快轴与驱动环连接,驱动环通过慢轴与基板连接,且扫描镜设置于驱动环的中心位置,驱动环设置于驱动孔的中心位置。上述装置通过将传统的快轴或慢轴的结构优化为应力均化结构,使快轴或慢轴的形变模式从扭转模式转变成弯曲模式,降低了应力集中区域在周复运动过程中的应力大小,使该应力远离疲劳破坏应力阈值,极大的提高非硅扫描镜的耐久性,进而提高了器件的工作寿命。

主权项:1.一种激光雷达的扫描装置,其特征在于,所述扫描装置包括:基板、扫描镜、驱动环、快轴和慢轴;所述快轴和所述慢轴中至少有一个为应力均化结构,所述应力均化结构包括单轴结构或双轴结构;其中,所述基板上设置驱动孔,所述扫描镜通过所述快轴与所述驱动环连接,所述驱动环通过所述慢轴与所述基板连接,且所述扫描镜设置于所述驱动环的中心位置,所述驱动环设置于所述驱动孔的中心位置。

全文数据:

权利要求:

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