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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要：本公开提供的阵列基板及超声检测装置，包括：衬底基板，位于衬底基板上的控制电路和压电单元；控制电路包括：第一晶体管和第二晶体管；第一晶体管的有源层的材料为低温多晶硅材料；第二晶体管的有源层的材料为氧化物材料；第二晶体管的栅极所在膜层与第二晶体管的源漏极所在膜层之间具有至少一层层间绝缘层和至少一层平坦化层。
主权项：1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板上的控制电路和压电单元；所述控制电路包括：第一晶体管和第二晶体管；所述第一晶体管的有源层的材料为低温多晶硅材料；所述第二晶体管的有源层的材料为氧化物材料；所述第二晶体管的栅极所在膜层与所述第二晶体管的源漏极所在膜层之间具有至少一层层间绝缘层和至少一层平坦化层。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 阵列基板及超声检测装置
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