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申请/专利权人：日立建机株式会社
摘要：以相同的灵敏度一并检查球面。一种表面检查方法，使用光照射装置50对具有球面的球体100的球面照射光，将由球面反射的反射光投射到环状屏幕105而形成光学像，基于光学像的亮度来检查球面的表面状态，通过光照射装置50，将以平行光束的光轴10a为中心成为圆环的方式对平行光束成形而得到的圆环光束10b以光轴10a通过球面的中心O的方式照射到球面，将由球面反射的反射光投射到所述环状屏幕105的成为凹面的被照射面。
主权项：1.一种表面检查方法，使用光照射装置对具有球面的检查对象物的所述球面照射光，将由所述球面反射的反射光投射到屏幕而形成光学像，基于所述光学像的亮度来检查所述球面的表面状态，该表面检查方法的特征在于，通过所述光照射装置，将以平行光的光轴为中心成为圆形的方式对所述平行光成形而得到的圆形光以所述光轴通过所述球面的中心的方式照射到所述球面，将由所述球面反射的所述反射光投射到所述屏幕的成为凹面的被照射面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日立建机株式会社 表面检查方法以及表面检查装置
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