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光斑外接圆测试工装及测试方法 

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申请/专利权人:北京华卓精科科技股份有限公司

摘要:本发明涉及光斑测试技术领域,具体而言,涉及一种光斑外接圆测试工装及测试方法。光斑外接圆测试工装包括底座、线性位移台、角度位移台、光束质量分析仪和读数头安装架;线性位移台和读数头安装架均安装于底座,角度位移台安装于线性位移台的移动部,光束质量分析仪安装于角度位移台的旋转部,读数头安装架用于安装读数头,光束质量分析仪的接收面与读数头的发光端相对设置;移动部至少能够沿Y轴移动,旋转部能够绕X轴和Y轴转动,X轴与读数头俯仰运动的轴线平行,Y轴垂直于光束质量分析仪的接收面。测试方法应用于上述光斑外接圆测试工装。本发明提供的光斑外接圆测试工装及测试方法,可获得读数头在真实工况下发出的两个光斑的外接圆直径。

主权项:1.一种光斑外接圆测试工装,其特征在于,包括底座(100)、线性位移台(200)、角度位移台(300)、光束质量分析仪(400)和读数头安装架(500);所述线性位移台(200)和所述读数头安装架(500)均安装于所述底座(100),所述角度位移台(300)安装于所述线性位移台(200)的移动部(210),所述光束质量分析仪(400)安装于所述角度位移台(300)的旋转部(310),所述读数头安装架(500)用于安装读数头(600),所述光束质量分析仪(400)的接收面与读数头(600)的发光端相对设置;所述移动部(210)至少能够沿Y轴移动,所述旋转部(310)能够绕X轴和所述Y轴转动,所述X轴与读数头(600)俯仰运动的轴线平行,所述Y轴垂直于所述光束质量分析仪(400)的接收面。

全文数据:

权利要求:

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