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申请/专利权人：广东谛思纳为新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种异形密封装置及真空腔体密封阀门，异形密封装置包括密封条以及密封沟槽；密封沟槽包括开设于顶端的顶端开口；密封条包括位于底端且内嵌于密封沟槽内的嵌套部，以及自密封沟槽的顶端开口突出的密封部；密封沟槽的内部底面的宽度大于密封沟槽的顶端开口的宽度；密封部与嵌套部的相接处的宽度与密封沟槽的顶端开口的宽度相等；密封部的顶端的宽度小于密封沟槽的顶端开口的宽度；嵌套部的底端的宽度大于密封沟槽的顶端开口的宽度；密封条可发生弹性形变。密封条受到压力后能够发生形变并增大与真空腔体法兰的接触面积，且受到侧向力作用时不容易发生侧弯等变形，保证了真空密闭腔体的可靠密封性，进而提升了镀膜质量。
主权项：1.一种异形密封装置，应用于真空镀膜装置中的真空腔体密封阀门，其特征在于，包括密封条以及密封沟槽；所述密封沟槽开设于密封阀板上；所述密封沟槽包括开设于顶端的顶端开口；所述密封条包括位于底端且内嵌于所述密封沟槽内的嵌套部，以及位于顶端且自所述密封沟槽的顶端开口突出的密封部；所述嵌套部的底端抵接至所述密封沟槽的内部底面；所述密封沟槽的内部底面的宽度大于所述密封沟槽的顶端开口的宽度；所述密封部与所述嵌套部的相接处的宽度与所述密封沟槽的顶端开口的宽度相等；所述密封部的顶端的宽度小于所述密封沟槽的顶端开口的宽度；所述嵌套部的底端的宽度大于所述密封沟槽的顶端开口的宽度；所述密封条受到外力作用时发生弹性形变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东谛思纳为新材料科技有限公司 异形密封装置及真空腔体密封阀门
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