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申请/专利权人：西尔科特克公司
摘要：公开了包括这样的部件的过程、部件和系统。该工艺包括提供具有基材和含非晶硅涂层的部件，并将含非晶Si涂层暴露于大于600摄氏度的温度。含非晶硅涂层不结晶。所述组件包括基材和含非晶硅涂层，其中所述涂层已暴露于大于600摄氏度的温度，且所述含非晶Si涂层不结晶。这些系统包括组件。
主权项：1.一种工艺，包括：提供具有基材和含非晶硅涂层的部件；以及使所述含非晶硅涂层暴露于高于600摄氏度的温度；其中，所述含非晶硅涂层不结晶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西尔科特克公司 具有暴露于高于600摄氏度的温度的含非晶硅涂层的工艺、部件和系统
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