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申请/专利权人：上海洛丁森工业自动化设备有限公司;重庆理工大学
摘要：本发明提供了一种基于小量程表压芯片的微绝压测量装置及其制造方法，所述测量装置包括：管座，设有具有小量程的表压芯片，所述表压芯片具有正端和负端；膜盒，设有正腔通道；其中，所述管座安装于所述膜盒上，所述正腔通道的一端与所述表压芯片的正端相通，另一端适于通入被测流体或导压介质，以使所述被测流体或导压介质能够通到所述表压芯片的正端，所述表压芯片的负端被配置为处于真空状态。本发明利用小量程表压芯片实现了微绝压测量。
主权项：1.一种基于小量程表压芯片的微绝压测量装置，其特征在于，所述测量装置包括：管座1，设有具有小量程的表压芯片，所述表压芯片具有正端和负端；膜盒2，设有正腔通道21；其中，所述管座1安装于所述膜盒2上，所述正腔通道21的一端与所述表压芯片的正端相通，另一端适于通入被测流体或导压介质，以使所述被测流体或导压介质能够通到所述表压芯片的正端，所述表压芯片的负端被配置为处于真空状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 重庆理工大学 基于小量程表压芯片的微绝压测量装置及其制造方法
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