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申请/专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
摘要：本发明提供了一种种子层制造方法，种子层制造方法包括以下步骤：将具有通孔的基板放置在托盘上，以使托盘遮挡通孔的底端；对托盘上的基板进行薄膜沉积，从而在通孔的孔壁形成种子层，种子层由金属材料制成，托盘的材料与种子层的材料相同。由于种子层材料与托盘的材料之间存在同种金属材料之间的金属键结合，因此，两者之间的附着力较高，种子层材料从托盘的表面脱落的风险较低，种子层制造过程中产生颗粒物的风险较低。
主权项：1.种子层制造方法，其特征在于，包括以下步骤：将具有通孔的基板放置在托盘上，以使所述托盘遮挡所述通孔的底端；对所述托盘上的所述基板进行薄膜沉积，从而在所述通孔的孔壁形成种子层，所述种子层由金属材料制成，所述托盘的材料与所述种子层的材料相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市矩阵多元科技有限公司 种子层制造方法
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