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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆支撑装置，包括沿水平方向间隔设置的两个第一对心支架，每一第一对心支架均包括弧形支座、高度调节件和支撑件，高度调节件通过通口与弧形支座可拆卸地连接，支撑件与弧形支座可拆卸地连接，支撑件包括水平向上设置的支撑面，支撑面用于支撑晶圆；本申请的晶圆支撑装置，通过两个第一对心支架上的支撑件共同对晶圆进行支撑，并通过调整两个第一对心支架沿水平方向上的间距，使不同尺寸的晶圆均可在两个对心支架的配合下被支撑，同时可通过调整高度调节件调整支撑件沿垂直方向上的高度，使支撑件在对不同厚度的晶圆进行支撑后，机械手的手指不易在拿取晶圆的过程中与对心支架发生干涉，同时保证传片效率和使用效果。
主权项：1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括沿水平方向间隔设置的两个第一对心支架；其中，每一所述第一对心支架均包括弧形支座、高度调节件和支撑件，所述弧形支座具有水平向上设置的上表面，所述上表面上设有沿垂直方向贯穿所述弧形支座的通口，所述高度调节件通过所述通口与所述弧形支座可拆卸地连接，且所述高度调节件沿垂直方向延伸；所述支撑件与所述弧形支座可拆卸地连接，所述支撑件包括水平向上设置的支撑面，所述支撑面与所述弧形支座的所述上表面沿垂直方向的投影不重叠，所述支撑面用于支撑晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 晶圆支撑装置
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