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申请/专利权人：上海谦视智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种用于晶圆作业的晶圆支撑结构，包括底座、载物台、运动导轨模块、测量模块以及支撑柱，所述支撑柱为可升降的两段式支撑柱，所述两段式支撑柱包括上支撑柱和下支撑柱，所述上支撑柱与所述下支撑柱可分离，进而实现可升降支撑柱高度不影响载台厚度的同时，使得上段支撑柱在升起的时候可以带着晶圆一并随着载台同步运动，另外，支撑柱的高度适宜，可以完全回缩到载物台内，不会因为支撑距离过远影响晶圆下表面的测量效果。
主权项：1.一种用于晶圆作业的晶圆支撑结构，其特征在于：包括底座，所述底座中具有第一安装空间；载物台，所述载物台上定义有一晶圆放置区，所述载物台中具有与所述第一安装空间纵向对齐的第二安装空间，所述第二安装空间位于所述晶圆放置区的正下方；运动导轨模块，所述运动导轨模块安装在所述底座上，用以驱动所述载物台在所述底座上移动；测量模块，所述测量模块包括上表面测量模块和下表面测量模块；以及支撑柱，所述支撑柱为可升降的两段式支撑柱，所述两段式支撑柱包括上支撑柱和下支撑柱，所述上支撑柱与所述下支撑柱可分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海谦视智能科技有限公司 一种用于晶圆作业的晶圆支撑结构
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