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申请/专利权人：盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆镀膜装置及其镀膜方法，涉及半导体技术领域。该晶圆镀膜装置包括机架以及安装于所述机架上的上料仓、送料机械手、暂存仓、转运机械手和镀膜仓。送料机械手设置于上料仓和暂存仓之间，送料机械手用于将上料仓内的晶圆运送至暂存仓，转运机械手设置于暂存仓和镀膜仓之间，转运机械手用于将暂存仓内的晶圆运送至镀膜仓，镀膜仓用于对晶圆进行镀膜，转运机械手还用于将镀膜完成的晶圆送回暂存仓。与现有技术相比，本发明提供的晶圆镀膜装置由于采用了中垂线穿过旋转轴线设置的上料口和进料口以及呈第一角度设置的两个进料口，所以能够实现晶圆的自动化送料，省时省力，镀膜效率高，并且送料精度高，镀膜效果好，产品质量好。

主权项：1.一种晶圆镀膜装置，其特征在于，包括机架以及安装于所述机架上的上料仓、送料机械手、暂存仓、转运机械手和镀膜仓，所述送料机械手设置于所述上料仓和所述暂存仓之间，所述送料机械手用于将所述上料仓内的晶圆运送至所述暂存仓，所述转运机械手设置于所述暂存仓和所述镀膜仓之间，所述转运机械手用于将所述暂存仓内的晶圆运送至所述镀膜仓，所述镀膜仓用于对晶圆进行镀膜，所述转运机械手还用于将镀膜完成的晶圆送回所述暂存仓；所述送料机械手包括安装座、第一驱动件、旋转架、第二驱动件和伸缩臂，所述安装座固定连接于所述机架上，所述第一驱动件安装于所述安装座上，且与所述旋转架转动连接，所述第一驱动件用于带动所述旋转架绕一旋转轴线相对于所述安装座转动，所述第二驱动件安装于所述旋转架上，且与所述伸缩臂连接，所述第二驱动件用于带动所述伸缩臂沿其长度方向伸缩，所述伸缩臂垂直于所述旋转轴线设置，所述伸缩臂用于运送晶圆；所述上料仓开设有上料口，所述暂存仓开设有进料口，所述上料口的中垂线和所述进料口的中垂线均穿过所述旋转轴线设置，所述第一驱动件用于通过所述旋转架带动所述伸缩臂转动至与所述上料口的中垂线平行的第一工位，以便于所述第二驱动件带动所述伸缩臂伸入所述上料口进行取料，所述第一驱动件还用于通过所述旋转架带动所述伸缩臂转动至与所述进料口的中垂线平行的第二工位，以便于所述第二驱动件带动所述伸缩臂伸入所述进料口进行放料；所述暂存仓的数量为两个，两个所述暂存仓并排设置，两个所述暂存仓的所述进料口所在平面呈第一角度设置，所述第一角度的范围为120度至150度。

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