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晶圆提篮及晶圆封装设备 

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申请/专利权人:上海新阳半导体材料股份有限公司

摘要:本发明公开了一种晶圆提篮及晶圆封装设备,包括支柱和托架,托架上远离支柱的远端设置第一限位机构,用于将具有第一规格的料篮限位固定;第一限位机构具有第一转动臂、第一转轴和第一限位臂,第一转动臂通过第一转轴可转动地连接在托架上,第一转动臂具有分别位于第一转轴两侧的承载端和摆动端,承载端靠近托架内部,第一限位臂自摆动端向上延伸地设置,当承载端被料篮压下时,第一限位臂将料篮限位固定在托架上。本发明的技术方案使用一种晶圆提篮就能兼容运送装载多种规格晶圆的料篮,提高了晶圆封装设备的生产效率,降低了运输过程中晶圆从料篮中掉落导致晶圆损坏的风险,节约了为适应多种规格晶圆而设计专门料篮的成本。

主权项:1.一种晶圆提篮,其特征在于,包括支柱和托架,所述支柱与所述托架固定,所述托架用于承载料篮,所述托架上远离所述支柱的远端设置第一限位机构,所述第一限位机构用于将具有第一规格的料篮限位固定在所述托架上;所述第一限位机构具有第一转动臂、第一转轴和第一限位臂,所述第一转动臂通过所述第一转轴可转动地连接在所述托架上,所述第一转动臂具有分别位于所述第一转轴两侧的承载端和摆动端,所述承载端靠近所述托架内部,所述第一限位臂自所述摆动端向上延伸地设置,当所述承载端被所述料篮压下时,所述第一限位臂将所述料篮限位固定在所述托架上。

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权利要求:

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