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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种热沉、晶圆上下料设备及晶圆级老化测试系统，涉及晶圆搬运技术领域。本实用新型在热沉的内部设置至少两组气道组，每组气道组包括至少一个气道，每个气道具有至少一个吸附口和至少一个第一通气口，第一通气口与外部气路连通，以使得外部气路通过气道抽真空，使得吸附口对晶圆进行吸附。至少两组气道组设置成在晶圆的搬运过程中同时或单独对晶圆进行吸附，可以确保晶圆在转移的过程中始终被吸附平贴在热沉上，从而始终保持平整，不会发生卷曲，可以确保晶圆测试正常进行以及提高晶圆测试效率，也可以避免吸附力消失导致晶圆掉落的情况发生。
主权项：1.一种热沉，其特征在于，所述热沉的内部设有至少两组气道组，每组所述气道组包括至少一个气道，每个所述气道具有至少一个吸附口和至少一个第一通气口，所述第一通气口与外部气路连通，以使得所述外部气路通过所述气道抽真空，使得所述吸附口对晶圆进行吸附；至少两组所述气道组设置成在所述晶圆的搬运过程中同时或单独对所述晶圆进行吸附。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种热沉、晶圆上下料设备及晶圆级老化测试系统
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