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申请/专利权人：北京芯力技术创新中心有限公司
摘要：本发明公开了一种堆叠晶圆的工艺检测设备、堆叠晶圆的工艺检测方法和晶圆键合机，其中堆叠晶圆的工艺检测设备包括：变温装置，变温装置用于调节堆叠晶圆的温度，沿堆叠晶圆的堆叠方向，堆叠晶圆包括相对的第一侧和第二侧，变温装置设置于堆叠晶圆的第一侧；温度传感器，温度传感器设置于堆叠晶圆的第二侧，用于检测堆叠晶圆的各个区域的温度；控制器，与温度传感器电连接，控制器被配置为根据堆叠晶圆的各个区域的温度，得到堆叠晶圆的工艺检测结果，该堆叠晶圆的工艺检测设备能够实现对堆叠晶圆的无损量测且量测结果精准，检测效率高，能够实现对每一批次堆叠晶圆中的每一堆叠晶圆都进行检测的需求，结构简单，成本低廉。
主权项：1.一种堆叠晶圆的工艺检测设备，其特征在于，包括：变温装置，所述变温装置用于调节堆叠晶圆的温度，沿所述堆叠晶圆的堆叠方向，所述堆叠晶圆包括相对的第一侧和第二侧，所述变温装置设置于所述堆叠晶圆的第一侧；温度传感器，所述温度传感器设置于所述堆叠晶圆的第二侧，用于检测所述堆叠晶圆的各个区域的温度；控制器，与所述温度传感器电连接，所述控制器被配置为根据所述堆叠晶圆的各个区域的温度，得到所述堆叠晶圆的工艺检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京芯力技术创新中心有限公司 堆叠晶圆的工艺检测设备、工艺检测方法和晶圆键合机
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