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申请/专利权人：拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司
摘要：本公开涉及光伏或半导体技术领域，具体涉及一种晶圆承托装置、晶圆搬运设备，解决了相关技术中晶圆搬运装置的多个同步带之间的松紧度不一致，进而降低多个同步轮带动多个双向丝杆转动的同步度，无法精准控制多个晶圆承托件之间间距，精准度差的问题。本公开的晶圆承托装置、晶圆搬运设备，通过连杆机构连接多个活动架，当驱动机构驱动至少一个活动架滑动时，在连杆机构的作用下，多个活动架同步动作，相较于相关技术中多个同步带联动的方式，本公开实施例具有更好的同步性和控制精度，确保在搬运过程中晶圆能够稳定、快速地从一个工位传送到另一个工位。
主权项：1.一种晶圆承托装置，其特征在于，包括：座体；多个支架组件，每个所述支架组件包括一个活动架和一个承托架，所述活动架的端部连接相应的承托架，所述承托架被配置为能够承载晶圆，所述活动架与所述座体滑动连接；驱动机构，设置于所述座体，所述驱动机构被配置为驱动至少一个所述活动架与所述座体相对滑动；连杆机构，与所述座体可转动连接，并与多个所述活动架均可转动连接，所述连杆机构被配置为在至少一个所述活动架相对所述座体滑动的情况下，带动多个所述活动架分别相对所述座体滑动，以增大或减小相邻的所述活动架之间的间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司 晶圆承托装置、晶圆搬运设备
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