买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：浙江吉进科技有限公司

摘要：本发明涉及晶圆边缘研磨机研磨技术领域，且公开了一种晶圆边缘研磨机研磨装置，包括设备外壳，设备外壳的顶部固定连接有固定台，设备外壳的底部中轴处固定连接有驱动电机。本发明通过设置打磨机构，当驱动电机的输出轴旋转带动输出转轴发生旋转，输出转轴旋转带动顶部的打磨箱发生旋转，此时打磨机构也开始旋转，当调节机构中的摩擦环配合连动杆二拉动连动杆一，旋转轴会带动向里挤压复位弹簧，此时旋转轴带动顶端的晶圆本体边缘挤压打磨块，此时打磨块在滑动槽内滑动挤压挤压弹簧，这样设置有利于挤压晶圆本体的边缘，使得晶圆本体边缘打磨有一定的压力从而使打磨更快。

主权项：1.一种晶圆边缘研磨机研磨装置，包括设备外壳（1），所述设备外壳（1）的顶部固定连接有固定台（11），所述设备外壳（1）的底部中轴处固定连接有驱动电机（12），所述驱动电机（12）的输出端固定连接有输出转轴（13），所述输出转轴（13）的中部固定连接有齿轮盘（14），所述输出转轴（13）远离驱动电机（12）的一端固定连接有打磨箱（15），所述固定台（11）上设置有晶圆本体（16），所述设备外壳（1）的底部固定连接有若干个支撑腿（17），其特征在于，还包括：固定机构（2），所述固定机构（2）包括开设在固定台（11）上的若干个固定槽（201），所述固定槽（201）的底部开设有若干个透气孔（202），所述固定台（11）上对应透气孔（202）的底部开设有转轴限位槽（203）；所述固定机构（2）还包括转动连接在设备外壳（1）底部的若干个旋转轴（204），所述旋转轴（204）远离设备外壳（1）底部内壁的一端通过转轴限位槽（203）与固定台（11）滑动连接，所述旋转轴（204）远离设备外壳（1）底部内壁的一端固定连接有旋转盘（205），所述旋转盘（205）的顶部固定连接有若干个吸盘（206）；通过固定台（11）上的固定槽（201）将晶圆本体（16）放到固定机构（2）中的旋转盘（205）上，再通过按压吸盘（206）将晶圆本体固定在旋转盘（205）上；所述固定机构（2）的正下方设置有调节机构（3），所述调节机构（3）包括固定连接在旋转轴（204）中部的小齿轮（301），所述设备外壳（1）的底部固定连接有若干个滑槽条（302），所述滑槽条（302）的内部滑动连接有转轴滑块（303），所述转轴滑块（303）与旋转轴（204）转动连接，所述转轴滑块（303）靠近输出转轴（13）的一侧固定连接有复位弹簧（304）；所述调节机构（3）还包括滑动连接在旋转轴（204）靠近滑槽条（302）一端的旋转环（305），所述旋转环（305）的侧壁转动连接有连动杆一（306），所述输出转轴（13）靠近驱动电机（12）的一端转动连接有摩擦环（307），所述摩擦环（307）的侧壁转动连接有连动杆二（308），所述连动杆二（308）与连动杆一（306）转动连接；所述打磨箱（15）的内部设置有打磨机构（4），所述打磨机构（4）包括开设在打磨箱（15）内部的若干个滑动槽（401），所述打磨箱（15）的滑动槽（401）内部滑动连接有打磨块（402），所述滑动槽（401）的内壁固定连接有挤压弹簧（403），所述挤压弹簧（403）远离滑动槽（401）内壁的一侧与打磨块（402）固定连接；由于输出转轴（13）旋转，在摩擦力的作用下摩擦环（307）会带动连动杆二（308）绕着输出转轴（13）旋转，这时摩擦环（307）带动连动杆一（306）拉动旋转环（305）上的旋转轴（204）沿着滑槽条（302）滑动；旋转轴（204）向里挤压复位弹簧（304），使小齿轮（301）与齿轮盘（14）发生啮合；旋转轴（204）带动顶端的晶圆本体（16）边缘挤压打磨块（402），在旋转的打磨块（402）打磨旋转的晶圆本体（16）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江吉进科技有限公司 一种晶圆边缘研磨机研磨装置