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申请/专利权人：渠梁电子有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆边缘保护方法，包括以下步骤：提供用于加工的晶圆，且对晶圆进行运输上料；在晶圆运输至机台上后，将机台上的喷嘴与晶圆的边缘处相对应设置；通过机台使得晶圆进行转动，且，喷嘴排出胶材，用于对晶圆的边缘处覆盖胶材；将边缘处覆盖有胶材的晶圆运输至加热装置中，对晶圆进行加热，用于使得胶材进行热固化，本发明通过设置机台沿着晶圆的边缘处环绕一圈，完成胶材的覆盖，喷嘴与晶圆的边缘进行相对应设置，晶圆在机台上进行转动，设置喷嘴在排出胶材的过程中，晶圆转动一圈，进而可以完成晶圆边缘处一周的完全覆盖，且，可以保持胶材的覆盖不会影响晶圆的整体结构以及后续的加工。
主权项：1.一种晶圆边缘保护方法，其特征在于，包括以下步骤：提供用于加工的晶圆，且对所述晶圆进行运输上料；在所述晶圆运输至机台上后，将所述机台上的所述喷嘴与所述晶圆的边缘处相对应设置；通过所述机台使得所述晶圆进行转动，且，所述喷嘴排出胶材，用于对所述晶圆的边缘处覆盖胶材；将边缘处覆盖有胶材的所述晶圆运输至加热装置中，对所述晶圆进行加热，用于使得所述胶材进行热固化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 渠梁电子有限公司 一种晶圆边缘保护方法
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