龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种用于保持物体的载物台，该载物台包括：被布置为将物体夹持在载物台上的静电夹具；被布置为中和静电夹具的残余电荷的中和器；被布置为控制中和器的控制单元，其中残余电荷是在没有电压被施加到静电夹具时存在于静电夹具上的静电荷。
主权项：1.一种用于保持物体的载物台，包括：静电夹具，被配置为将所述物体夹持在所述载物台上；卸载单元，被配置为将所述物体从所述载物台卸载；以及中和器，被配置为至少部分地中和所述静电夹具的电荷，其中所述中和器被配置为在所述卸载单元正在卸载所述物体时至少部分地中和所述电荷；传感器，用于基于所述物体的移动获得关于所述电荷的信息，其中所述传感器被配置为提供与在第一状态中的所述物体和在第二状态中的所述物体相关联的测量，其中在所述第一状态中，所述物体在所述载物台上，并且其中在第二状态中，所述物体离开所述载物台。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 包括静电夹具的载物台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号