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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：微反射镜阵列包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；以及针对多个反射镜中的每个反射镜，将衬底连接到反射镜的相应的柱。针对多个反射镜中的每个反射镜，微反射镜阵列还包括被连接到衬底的一个或多个静电致动器，该一个或多个静电致动器用于向柱施加力以使柱相对于衬底进行位移，由此使反射镜进行位移。还公开了一种形成该微反射镜阵列的方法。微反射镜阵列可以用于可编程照射器中。可编程照射器可以用于光刻设备和或检查设备中。
主权项：1.一种微反射镜阵列，包括：衬底；多个反射镜，用于反射入射光；其特征在于，所述微反射镜阵列还包括：针对所述多个反射镜中的每个反射镜，支撑所述反射镜的相应的柱；以及针对所述多个反射镜中的每个反射镜，被连接到所述衬底的一个或多个静电致动器，所述一个或多个静电致动器用于向所述柱施加力以使柱相对于所述衬底进行位移，由此使所述反射镜进行位移，并且其中每个静电致动器通过一个或多个弹性元件被连接到所述柱。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 微反射镜阵列
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