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申请/专利权人：觉芯电子(无锡)有限公司
摘要：本申请提供一种振镜装置及MEMS振镜集成产品，所述振镜装置包括：框架，包括固定结构及通过慢转轴梁与所述固定结构连接的可动框架；反射镜，通过快转轴梁与所述可动框架连接；传感组件，包括对应所述慢转轴梁设置的第一传感元件、和或对应所述快转轴梁设置的第二传感元件；应力隔离结构，包括设于所述慢转轴梁外侧的应力隔离槽，用于隔离垂直于所述应力隔离槽延伸方向上的应力传递。
主权项：1.一种振镜装置，其特征在于，包括：框架，包括固定结构及通过慢转轴梁与所述固定结构连接的可动框架；反射镜，通过快转轴梁与所述可动框架连接；传感组件，包括对应所述慢转轴梁设置的第一传感元件、和或对应所述快转轴梁设置的第二传感元件；应力隔离结构，包括设于所述慢转轴梁外侧的应力隔离槽，用于隔离垂直于所述应力隔离槽延伸方向上的应力传递。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 觉芯电子(无锡)有限公司 振镜装置及MEMS振镜集成产品
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