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用于生成对象的概览图像的方法 

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申请/专利权人:卡尔蔡司显微镜有限责任公司

摘要:本发明涉及一种用于生成对象的概览图像的方法,其中在第一捕获持续时间期间,用照明辐射沿着轨迹扫描对象的区域,其中轨迹是基于对象的特性单独选择的;并且在轨迹的扫描期间捕获对象的第一图像,将该第一图像与绝对距离测量系统的位置数据一起存储为单独的概览图像。在第二捕获持续时间期间,用照明辐射扫描对象的至少一些区域,并且捕获第二图像;其中对象的已经在第一捕获持续时间期间成像的区域不再成像。在第一捕获持续时间期间捕获的第一图像和在第二捕获持续时间期间捕获的第二图像被融合以形成对象的合成的概览图像。

主权项:1.一种用于生成对象1的概览图像iB、rB的方法,其中,在第一捕获持续时间期间,沿着轨迹T用照明辐射BS扫描所述对象1的区域,其中所述轨迹T是基于所述对象1的特性单独选择的;在所述轨迹T的扫描期间捕获所述对象1的第一图像eBn,将所述第一图像eBn与绝对距离测量系统的位置数据x、y、z一起存储为单独的概览图像iB;在第二捕获持续时间期间,用照明辐射BS扫描所述对象1的至少一些区域,并且捕获第二图像zBn;其中所述对象1的已经在所述第一捕获持续时间期间成像的区域不再被成像,或者仅以不超过50%的比例再次被成像;以及在所述第一捕获持续时间期间捕获的所述第一图像eBn和在所述第二捕获持续时间期间捕获的所述第二图像zBn被融合以形成所述对象1的合成的概览图像rB。

全文数据:

权利要求:

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