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申请/专利权人：无锡市好达电子股份有限公司
摘要：本申请关于一种纵波型漏声表面波谐振器、滤波器及多工器，涉及声表面波领域。本申请在压电层的下方设置面方位为100或110的硅基板，在硅基板的面方位为100的前提下，其欧拉角为0°，0°，ψ，欧拉角中的ψ满足0°≤ψ≤360°；在硅基板的面方位为110的前提下，其欧拉角为135°，90°，ψ，欧拉角中的ψ满足70°≤ψ≤110°或250°≤ψ≤290°。在此情况下，通过硅基板作为支承基板，提供了一种具有大的器件Q值和高的工作频率的纵波型漏声表面波谐振器。
主权项：1.一种纵波型漏声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电层，其包括欧拉角为0°±10°，80°±10°，90°±10°或90°±10°，90°±10°，40°±10°或90°±10°，90°±10°，140°±10°的铌酸锂薄膜；叉指换能器电极和反射栅电极，所述叉指换能器电极和反射栅电极直接或间接地形成在所述压电层上，所述叉指换能器电极和反射栅电极由重金属材料构成；以及硅基板，其位于所述压电层的下方，其面方位为100或110中的一个；其中，在所述硅基板的面方位为100的前提下，其欧拉角为0°，0°，ψ，所述欧拉角中的ψ满足0°≤ψ≤360°；在所述硅基板的面方位为110的前提下，其欧拉角为135°，90°，ψ，所述欧拉角中的ψ满足70°≤ψ≤110°或250°≤ψ≤290°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡市好达电子股份有限公司 纵波型漏声表面波谐振器、滤波器及多工器
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