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申请/专利权人：微智帆途科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种基于激光调制技术的氧化石墨烯湿度传感器，包括在衬底表面依次设置的介电层、叉指电极和敏感层，介电层和敏感层均采用激光辐照后的氧化石墨烯真空抽滤制备的薄膜。本发明具有较高的比表面积，灵敏度高，且生产难度低、品质高。
主权项：1.一种基于激光调制技术的氧化石墨烯湿度传感器，其特征在于，包括在衬底表面依次设置的介电层、叉指电极和敏感层，介电层和敏感层均采用激光辐照后的氧化石墨烯真空抽滤制备的薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 微智帆途科技(苏州)有限公司 一种基于激光调制技术的氧化石墨烯湿度传感器
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