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申请/专利权人：星奇(上海)半导体有限公司
摘要：本申请提供一种可手动控制的气动控制装置，涉及半导体工艺设备技术领域。所述可手动控制的气动控制装置包括气管接头、手动组件、气控组件以及阀体组件，所述气管接头用于通入控制气体；所述手动组件包括旋转手柄、指示板、锁定板和压缩弹簧，所述压缩弹簧位于所述指示板下方，所述旋转手柄与所述锁定板连接，所述指示板上设置有供所述锁定板开启或关闭的锁定位置；所述气控组件包括进气杆、预留工装位置、弹簧、上活塞、中活塞、下活塞、执行器上盖以及外壳，所述阀体组件包括阀盖、顶柱、膜片、阀座和阀体，实现了多种组合控制方式，且控制过程更严密可靠，也能保障执行效率。
主权项：1.一种可手动控制的气动控制装置，其特征在于，包括气管接头1、手动组件2、气控组件3以及阀体组件4，其中，所述气管接头1用于通入控制气体；所述手动组件2包括旋转手柄21、指示板22、锁定板23和压缩弹簧24，所述压缩弹簧24位于所述指示板22下方，所述旋转手柄21与所述锁定板23连接，所述指示板22上设置有供所述锁定板23开启或关闭的锁定位置；所述气控组件3包括进气杆31、预留工装位置32、弹簧33、上活塞34、中活塞35、下活塞36、执行器上盖37、以及外壳38，所述下活塞36、所述中活塞35依次安装进所述外壳38，所述执行器上盖37将所述弹簧33压紧于所述上活塞34，所述外壳38对所述弹簧33在径向形成限位，所述上活塞34及所述执行器上盖37对所述弹簧33在轴向形成限位，所述进气杆31与所述执行器上盖37连接，并对所述上活塞34的位置进行限制，所述执行器上盖37与所述外壳38连接，所述手动组件2的旋转手柄21与所述进气杆31之间径向装配；所述阀体组件4包括阀盖41、顶柱42、膜片43、阀座44和阀体45，所述阀座44与所述阀体45连接，所述顶柱42与所述阀盖41配合并压住所述膜片43。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星奇(上海)半导体有限公司 一种可手动控制的气动控制装置
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