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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本申请涉及一种用于晶圆加工的气浮台，用于晶圆加工的气浮台包括底座、升降组件、转台及气浮溜板，升降组件包括升降轴和升降驱动件，升降驱动件设于底座上，且与升降轴相连，以驱动升降轴沿第一方向做升降运动，转台绕平行于第一方向的轴线转动地设于升降轴上，且用于承载晶圆，气浮溜板设于底座上，且围绕升降轴设置，其中，气浮溜板与升降轴之间界定出第一气膜通道，第一气膜通道用于通入压缩气体，以在第一气膜通道内形成第一气膜。本申请为升降轴的升降提供稳定的导向和限位，并通过形成的第一气膜向升降轴提供径向的刚度支撑，提高了本申请用于晶圆加工的气浮台运动的稳定性和抗倾覆能力，利于对升降轴升降时的精度的控制。
主权项：1.一种用于晶圆加工的气浮台，其特征在于，所述用于晶圆加工的气浮台包括：底座；升降组件，包括升降轴和升降驱动件，所述升降驱动件设于所述底座上，且与所述升降轴相连，以驱动所述升降轴沿第一方向做升降运动；转台，所述转台绕平行于所述第一方向的轴线可转动地设于所述升降轴上，且用于承载晶圆；及气浮溜板，设于所述底座上，且围绕所述升降轴设置；其中，所述气浮溜板与所述升降轴之间界定出第一气膜通道，所述第一气膜通道用于通入压缩气体，以在所述第一气膜通道内形成第一气膜；所述升降轴包括升降导向部，所述升降导向部连接于所述升降驱动件的输出端；所述升降导向部包括沿所述第一方向与所述底座间隔水平设置的第一部分，以及围绕所述第一部分竖直设置的第二部分，所述第二部分与所述气浮溜板之间界定出所述第一气膜通道；所述第一部分与所述第二部分界定出一用于部分收容所述转台的容纳槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆加工的气浮台
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