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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：本发明提供一种激光装置。激光装置包括：真空腔室；激光模块，布置于所述真空腔室的外部；运载体，布置于所述真空腔室的内部，并放置对象基板；腔室窗口，以与所述运载体重叠的方式布置于所述真空腔室的一侧，并且使由所述激光模块照射的激光束通过；挡板模块，布置于所述运载体和所述腔室窗口之间；保护部件，布置于所述腔室窗口和所述挡板模块之间；以及加热模块，包含与所述保护部件相邻地布置的热源以及布置于所述热源的外侧的反射器。
主权项：1.一种激光装置，包括：真空腔室；激光模块，布置于所述真空腔室的外部；运载体，布置于所述真空腔室的内部，并放置对象基板；腔室窗口，以与所述运载体重叠的方式布置于所述真空腔室的一侧，并且使由所述激光模块照射的激光束通过；挡板模块，布置于所述运载体和所述腔室窗口之间；保护部件，布置于所述腔室窗口和所述挡板模块之间；以及加热模块，包含与所述保护部件相邻地布置的热源以及布置于所述热源的外侧的反射器，其中，所述加热模块还包括：隔热部件，布置于所述反射器和所述挡板模块之间，其中，所述隔热部件包括：第二孔，贯通所述隔热部件，并且与从所述激光模块照射的所述激光束所通过的照射区域不重叠。
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