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异物检查装置及异物检查方法 

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申请/专利权人:FK光学研究所股份有限公司

摘要:本发明提供一种异物检查装置,在检查附着于检查对象的异物时,通过扩大有效检查区域,来实现异物检测精度的提高。本发明的异物检查装置1用于检查附着于检查对象4的表面上的异物;异物检查装置1具备:光源部3a、3b,其将与检查对象4的表面颜色成为互补色关系的照明光L照射于检查对象4;拍摄部2a~2r,其对检查对象4进行拍摄;以及检测部,其基于由拍摄部2a~2r拍摄到的图像,来检测异物。

主权项:1.一种异物检查装置,其用于检查附着于检查对象的表面上的异物,其特征在于,所述异物检查装置具备:光源部,其将与所述检查对象的表面颜色成为互补色关系的照明光照射于所述检查对象;拍摄部,其对所述检查对象进行拍摄;以及检测部,其基于由所述拍摄部拍摄到的图像,来检测异物,所述检测部使用了指定不感应区域的遮罩,来检测异物,其中该不感应区域为:所拍摄到的图像中的被排除在异物的检测对象之外的区域,并且,所述不感应区域是:比位于所述检查对象背面的结构物、或者设置于检查对象的孔的大小还要小的区域。

全文数据:

权利要求:

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