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申请/专利权人：深圳市星海威真空设备有限公司
摘要：本实用新型适用于真空设备技术领域，提供了一种旋转坩埚装置及真空蒸发设备。旋转坩埚装置包括安装座、转动轴、坩埚安装盘以及驱动机构，转动轴相对安装座具有绕自身轴线转动的自由度，转动轴内部设置有第一通道与第二通道，坩埚安装盘设置在转动轴的第一端，坩埚安装盘的内部设置有冷却通道，冷却通道分别与第一通道以及第二通道连通。可以在保证转动轴安装密封的同时，还可以通过将转动轴的第二端与外部管路连通，使冷却水可以通过转动轴上的第一通道进入坩埚安装盘内部的冷却通道，并在对坩埚进行冷却后从第二通道中流出，可以在转动轴与坩埚安装盘保持转动工作的同时使冷却水可以流经坩埚处，大大提高了坩埚处的冷却效果。
主权项：1.一种旋转坩埚装置，其特征在于，包括：安装座；转动轴，贯穿所述安装座设置，且与所述安装座密封连接，相对所述安装座具有绕自身轴线转动的自由度，所述转动轴内部设置有第一通道与第二通道，所述第一通道和所述第二通道用于与外部管路连通；坩埚安装盘，设置在所述转动轴的第一端，所述坩埚安装盘内部设置有冷却通道，所述冷却通道分别与所述第一通道以及所述第二通道连通；以及驱动机构，设置在所述安装座上，用于驱动所述转动轴转动。
全文数据：
权利要求：
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