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申请/专利权人:筑波精工株式会社
摘要:本发明提供一种静电吸附工具,在湿环境中长时间持续维持纤薄客体的吸附。静电吸附工具A1包括:静电吸附力产生部件30,所述静电吸附力产生部件30在电绝缘层301的内部埋设电极元件组302、303,通过向电极元件组302、303施加电压来静电吸附纤薄客体10;静电吸附力产生部件30至少在吸附纤薄客体10的吸附面上具有由防水性材料制成的第一防水绝缘层305。
主权项:1.一种静电吸附工具,其特征在于,包括:静电吸附力产生部件,在电绝缘层的内部埋设有电极元件组,通过向所述电极元件组施加电压而静电吸附纤薄客体;所述静电吸附力产生部件至少在吸附所述纤薄客体的吸附面上具有由防水性材料制成的防水层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 筑波精工株式会社 一种静电吸附工具及客体表面加工方法
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